• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1992009021A1
    申请号:PCT/JP1991/001485
    申请日:1991-10-30
    公开日:1992-05-29
    发明作者:Takao Sasaki；Toshiaki Otsuki；Yasuhiro Saito
    申请人:Fanuc Ltd；
    IPC主号:G05B19-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 害
    [0002] 数値制御機械の作動精度評価方法
    [0003] 技 術 分 野
    [0004] 本発明は、 数値制御機械の作動精度評価方法に関し、 特に、 機械を実際に運転する こ とな く機械作動精度を評 価でき る精度評価方法に関する。
    [0005] 背 景 技 術
    [0006] 数値制御機械の駆動源の一部を成すサーボモー タは、 数値制御装置からの数値制御指令に従って駆動制御され、 常に或る遅れ量をもって指令に追従する。 そ して、 この 遅れ量に起因 して機械作動上の誤差が生じる。 こ のため、 例えば数値制御工作機械においては、 加工精度の評価結 果に従って数値制御装置の制御パラ メ一タ及び工作機械 の作動部を調整して加工誤差を低減させている。
    [0007] 加工精度評価にあた り、 一般には、 工作機械を実際に 運転してワー ク を加工して得た加工^の各部寸法を測定 し、 測定寸法と設計寸法とに基づいて加工誤差を求めて いる。 しかしながら、 寸法測定には熟練と手間を要する。 しかも、 所要の加工精度を得るため、 通常は、 調整作業 を繰り返し行う と共に調整作業を行う度にワ ーク の加工 を実際に行って調整後の加工精度を評価しなければなら ない。 このため、 加工精度評価には労力と費用がかかる。 又、 ダブルボールバー （ D B B ) 装置等の誤差測定装 置を工作機械に装着して、 ワー ク の加工を実際には行わ ずに加工誤差を測定する こ とが知られている。 こ の場合、 一 - 加工を実際に行わずに済むと云う利点がある も のの、 D B B装置等の特別な測定装置を必要とする不都合が生じ る。 しかも、 工作機械への D B B装置の取付け作業には 相当の熟練を要し、 加工誤差測定の度に D B B装置を取 付けるのはオ ペ レータの負担になる。
    [0008] 発 明 の 開 示
    [0009] 本発明の目的は、 特別な測定装置を使用する こ となし に、 数値制御機械を実際に加工運転し或は空運転するだ けで、 機械作動精度を数値制御装置側で簡単に評価でき る精度評価方法を提供する こ と にある。
    [0010] 上述の目的を達成するため、 本発明の数値制御機械の 作動精度評価方法は、 （ a ) 数値制御装置からの数値制 御指令に応動する数値制御機械から送出されるフ ィ ー ド バッ ク信号に基づいて機械作動位置を求め、 （ b ) 前記 工程 （ a ) で求めた機械作動位置と数値制御指令により 指定された目標機械作動位置との誤差を求め、 （ c ) 前 記工程 ( ) で求めた誤差に基づいて数値制御機械の作 動精度を評価する工程を備える。
    [0011] 上述のよ う に、 本発明方法によれば、 数値制御機械か ら送出される フ ィ ー ドバッ ク信号に基づいて求めた機械 作勤位置と数値制御指令によ り指定された目標機械作動 位置との誤差に基づいて機械作動精度を評価する ように したので、 特別な測定装置を使用するこ とな しに、 機械 を実際に加工運転し或は空運転するだけで、 機械作動精 度を数値制御装置側で簡単に評価できる。 図 面 の 簡 単 な 説 明
    [0012] 第 1 図は、 本発明の一実施例による精度評価方法を実 施するための数値制御装置を数値制御工作機械と共に示 すブロ ッ ク図、
    [0013] 第 2 図は、 数値制御装置によ り行われる精度評価の手 順を示すフ ロ ー チ ヤ — ト、
    [0014] 第 3 図は、 真円度測定における半径誤差の表示例を示 す図である。
    [0015] 発明を実施するための最良の形態
    [0016] 第 1 図において、 参照符号 1 0 は、 数値制御工作機械 (以下、 N C工作機械と云う） 3 0 を駆動制御すると共 に機械 3 0 の加工精度を評価するためのコ ン ピュ ータ内 蔵式数値制御装置 （以下、 C N C装置と云う） を示す。
    [0017] N C工作機械 3 0 は、 X軸ボールネ ジ 3 1 及び Y軸ボ 一ルネ ジ （図示略） に沿って移動自在の可動部 3 2に固 定されかつワ ー ク 6 0 が載置されるテーブル 3 3 を備え ている。 テー ブル 3 3 は、 X軸及び Y軸ボールネ ジに駆 動的に夫々連結された X軸サ - ボモータ 3 4及び Y軸サ ーボモータ （図示略） の回転に伴って、 可動部 3 2 と一 体に X Y水平面内で移動するよ う になっている。
    [0018] 又、 工作機械 3 0 は、 フ ラ イ ス等の工具 4 1 を把持す るためのス ピ ン ドルへ ッ ド 4 2 を備えている。 ス ピン ド ルへ ッ ド 4 2 は、 ギア機構 4 3 を介してス ピ ン ド ルモ一 夕 4 4 に駆動的に連結されてモータ 4 4 によ り回転駆動 される と共に、 Z軸サーボモー タ （図示略） を駆動源と する送り機構 （図示略） に駆動的に連結され、 Z軸モー 夕 の回転に伴ってワー ク 6 0 に対して垂直方向に接近離 反移動する よ う になっている。 X軸サ― ボモータ 3 4 に はモータ回転位置を表す位置フ ィ一 ドバッ クパル ス信号 U ( i ) を発生するためのパル ス コーダ 3 5 が装着され ている。 Y軸及び Z軸サーポモータにも同様のバルス コ ーダが装着され、 Y軸パルス コ ーダは位置フ ィ ー ドバッ クパルス信号 V ( i ) を発生するよ う にされている。 な お、 パルスコ ーダに代えて リ ニァス ケ ー ル等の位置検出 器を用いても良い。
    [0019] N C工作機械 3 0 は機械操作盤 5 1 と機械制御回路 5 3 とを更に備え、 機械操作盤 5 1 には手動パルス発生器 5 2， 各種操作ボタ ン Zス ィ ッ チ （図示略） 等が設けら れている。 手動パルス発生器 5 2 は、 手動入力される回 転角度指令に応じて、 テー ブル 3 3 ， ス ピ ン ドルヘッ ド 4 2等の各軸機械作動部を精密に位置決めするためのパ ルス列を発生するよう にされている。 機械制御回路 5 3 は、 図示しない自動工具交換機等の機械作動部に設けた 空圧ァクチユ エ一夕 （図示略） への加圧空気供給を制御 するための開閉弁 （図示略） ， 機械作動部の作動位置を 検出するための リ ミ ッ ト スイ ッ チ （図示略） 等を有して いる ο
    [0020] C N C装置 1 0 は、 プロセ ッ サ （ C P U ) 1 1 と、 C N C装置全体の制御に用いる シ ス テ ムプロ グラ ムを格納 した例えば E P R 0 M或は E E P R 0 Mからなる リー ド オ ン リ メ モ リ 1 2 と、 例えば S R A Mからなり各種デー 夕及び C P U 1 1 によ る演算処理結果の一時記憶等に用 いる ラ ンダム ア ク セ ス メ モ リ 1 3 と、 例えばバ ッ テ リ ノ、' ッ ク ア ッ プされた C M O S からなる不揮発性メ モ リ 1 4 とを備えている。 メ モ リ 1 2 〜 ： 1 4 は ノ、 * ス 2 3 を介して C P U 1 1 に接続されてい る。
    [0021] 不揮発性メ モ リ 1 4 には、 N C加エブロ グラ ム と、 精 度評価プロ グ ラ ム と しての円弧加工指令プロ グラ ム 1 4 a と、 円弧加工における許容上下限半径 R u及び R 1 と、 X軸及び Y軸についてのポ ジシ ョ ンゲイ ン及びバック ラ ッ シ補正量等の工作機械 3 0 の加工誤差に関与する各種 運転バラ メ ー タ とが格納されている。 C P U 1 1 は、 精 度評価処理中に、 X軸， Y軸方向機械作動位置 X ( i ) ， Y ( i ) を算出し、 次いで、 両算出値及びプロ グ ラ ム 1 4 a で指定された指令半径 R c から半径方向機械作動位 置 R ( i ) 及び半径誤差 ( i ) を算出するよ うにな つ ている。
    [0022] 又、 C N C装置 1 0 は、 バス 2 3 に接続した グ ラ フィ ッ ク制御回路 1 6 と、 これに接続した C R T或は液晶表 示装置 1 6 a と、 シ ンボ リ ッ ク キ ー， テ ンキー等を有し 種々の指令， データ等を手動入力するためのキー ボー ド 1 7 とを有し、 キーボー ド 1 7 はバス 2 3 に接続されて いる。 グラ フ ィ ッ ク制御回路 1 6 は、 X軸及び Y軸方向 位置ならびに半径 R ( i ) 及び半径誤差 Δ Ι ( i ) なら びに許容上下限半径 R u， R 1 の夫々を表すデー タを R A M I 3及び不揮発性メ モ リ 1 4から入力して画像信号 に変換する よ う になつている。 表示装置 1 6 a は、 グラ フ ィ ッ ク制御回路 1 6 bからの画像信号に対応する画像 を表示画面 （図示略） 上に表示するよう になっている。 表示装置 1 6 a の表示画面の下方には複数のソ フ トキ一 (図示略） が設けられている。
    [0023] 更に、 C N C装置 1 0 は、 N C工作機械 3 0 の軸数以 上の数の軸制御回路 （その一つを参照符号 1 8で示す） と、 これと同数のサ一 ボア ンプ （その一つを参照符号 1 9 で示す〉 と、 ス ピ ン ドル制御回路 2 0 と、 ス ピ ン ドル ア ンプ 2 1 とを備えている。 軸制御回路の各々は、 バス 2 3 を介して接続された C P U 1 1 からの位置指令と、 各章由サーボモ一夕の対応する一つのパルスコ一ダからの 位置帰還信号とを入力して、 速度指令信号を発生するよ う になつている。 軸制御回路からの速度指令信号は、 サ 一ボア ンプで増幅されてサーボモータ に印加され、 これ によ りサーボモータが駆動される。 ス ピ ン ドル制御回路 2 0 は、 ス ピ ン ドルモータ 4 4 を指令回転速度で回転さ せるための指令信号をス ピン ドルア ンプ 2 1 に送出する よ う にされている。
    [0024] 又、 C N C装置 1 0 は、 シー ケ ンスプロ グラ ム 1 5 a を内蔵したプロ グラ マブル ' マ シ ン ' コ ン ト ロ ー ラ （ P M C ) 1 5 と、 P M C 1 5 と機械制御回路 5 3 との間で の信号授受を行うための入出力回路 2 2 とを有している c P M C 1 5 は、 C P U 1 1 から送出される M機能， S撐 能， T機能等の指令を入力して シーケ ンスプロ グラム 1 5 a に従ってこれを解読し、 解読結果に対応する出力信 号 （例えば工作機械 3 0 の空圧ァク チュ ヱータを制御す る信号） を入出力回路 2 2 を介して機械制御回路 5 3 に 送出して、 工作機械 3 0 を駆動制御するよ う に している c 又、 P M C 1 5 は、 機械制御回路 5 3 から送出される リ ミ ツ ト ス イ ツ チ信号及び機械制御回路 5 3 を介して機械 操作盤 5 1 から送出される ス ィ ツ チ信号を入出力回路 2 2 を介して読み取り、 斯く読み取った入力信号を シーケ ンス プロ グラ ム 1 5 a に従って処理する よ う に している。 工作機械 3 0 側で必要な P M C 出力信号は機械制御回路 5 3 に送出され、 C N C装置 1 0側で必要な P M C出力 信号はバス 2 7 を介して R A M I 3 に転送されて C P U 1 1 によ り読み取られる。
    [0025] なお、 単一のプロセ ッ サ 1 1 を有する C N C装置 1 0 に代えて、 マルチプロ セ ッ サ型の数値制御装置を用いて も良い。
    [0026] 以下、 第 2 図を参照して、 C N C装置 1 0 によ る工作 機械 3 0 の加工精度の評価手順を説明する。
    [0027] 通常は、 工作機械 3 0 における加工誤差に関与する各 種運転パラ メ ータ を加工誤差低減のために先ず粗調整す ベく、 ワー ク 6 0 を工作機械 3 0 に取り付けない状態で 工作機械 3 0 を空運転しつつ、 最初の精度評価が行われ る 0
    [0028] 表示装置 1 6 a の所定のソ フ トキ一が手動操作される - - と、 C N C装置 1 0 の作動モー ドが精度評価モー ドに設 定される。 C P U 1 1 は、 不揮発性メ モ リ 1 4から精度 評価プロ グラ ム と しての円弧加工プロ グラ ム 1 4 aを読 み出してこれを実行し、 X Y平面での円弧加工に係る指 令を送出する （第 2 図のステ ッ プ S 1 ) 。 この結果、 円 弧加工指令に応動する各軸の軸制御回路により、 工作機 械 3 0 の各軸サーボモータが各軸サーボア ンプを介して 回転駆動されて、 テー ブル 3 3 が X Y平面内で移動する。 テーブル移動に伴って、 X軸のノ、。ルス コ ーダ 3 5 からの 位置フ ィ ー ドバッ クパルス信号 U ( i ) 及び Y軸のパル ス コーダからの位置フ ィ ー ドバ ッ ク パルス信号 V ( i ) が、 X軸の軸制御回路 1 8及び Y軸の軸制御回路に夫々 供給される。
    [0029] 円弧加工プロ グラ ム 1 4 a の実行中、 C P U 1 1 は、 単位時間当り のフ ィ ー ドバ ッ ク パルス数を表す X軸及び Y軸方向位置データ U ( i ) , V ( i ) ( i = l , 2 , • · · ) を X軸及び Y軸の軸制御回路から周期的に読み 取り （ステ ッ プ S 2 ) 、 読み取ったデー タを R A M I 3 に順次害込む。 そして、 円弧加工プロ グラ ム 1 4 aが終 了する と、 読取りデー タ U ( i ) , V ( i ) に基づいて X軸及び Y軸方向機械作動位置 X ( i ) ， Y ( i ) を順 次算出し、 更に、 位置データ X ( i ) , Y ( i ) から半 径方向機械作動位置 R ( i ) を順次算出する （ス テップ S 3 ) 。 算出データ R ( i ) は R A M I 3 に格納される。 次に、 C P U 1 1 は、 算出半径 R ( i ) とプロ グラム 1 4 a で指定された指令半径 R c との差すなわち半径誤差 厶 R ( i ) を順次算出し （ス テ ッ プ S 4 〉 、 これにより- 円弧加工プロ グラ ム 1 4 a の実行に伴う X軸及び Y軸機 械作動部の X Y平面上での移動軌跡の真円度が測定され る。 算出半径誤差 A R ( i ) は R A M I 3 に指令半径 R c と共に格納される。
    [0030] グラ フ ィ ッ ク制御回路 1 6 は、 不揮発性メ モ リ 1 4か ら読み出した許容上下限半径 R u及び R 1 ならびに R A M l 3 から読み出した算出半径 R ( i ) 又は算出半径誤 差 Δ R ( i ) 及び指令半径 R c に従って画像信号を生成 して表示装置 1 6 a に送出する。 表示装置 1 6 a は、 画 像信号に従っ て、 第 3 図に示す図形を適宜のスケ ールで 表示画面上にグラ フ ィ ッ ク表示する （ス テ ッ プ S 5 ) 。 第 3 図において、 記号 Wは、 算出半径 R ( i ) 又は算出 半径誤差 ( i ) に対応し実線で描画される実際加工 軌跡を示し、 C 2 は指令半径 R c に対応する指令加工執 跡を示し、 C 1 及び C 3 は許容上下限半径 R u及び R 1 に対応する許容外側及び内側加工軌跡を夫々示す。 指令 軌跡 C 2及び許容軌跡 C 1， C 3 は、 実際軌跡 Wと容易 に区別可能とするために破線で描画される。 しか も、 目 視観察上の便宜のため、 軌跡同士が実際よ り も大き く離 隔するよ う に、 軌跡 W及び C 1 〜 C 3 が描画される。
    [0031] オペ レータ は、 軌跡 Wと軌跡 C 1〜 C 3 とを比較対照 し、 加工誤差の分布状態， 加工誤差の X Y平面での出現 位置等を勘案 して、 工作機械 3 0 における加工精度を評 価する。 この様に、 ワ ー ク 6 0 を実際に加工する ことな しに、 精度評価が行える。 そ して、 オペ レータ は、 必要 に応じて、 工作機械 3 ひにおける加工誤差に関与する各 種運転パラ メ 一夕 （例えば、 X軸及び Y軸の軸制御回路 でのポ ジシ ョ ンゲイ ンならびに X軸及び Y軸についての バッ ク ラ ッ シ補正量） の所要の ものを所要量だけキーボ ー ド 1 7 を介して調整する。 この運転パラ メ ータ調整に 応じて、 R A M I 3 に格納された各種運転パラ メ ータの 対応する ものが、 C P U 1 1 の制御下で害き換え られる。
    [0032] 次に、 必要に応じて、 加工誤差に関与する各種運転パ ラ メ ータを微調整すべく、 粗調整済みの運転パラ メータ に従って工作機械 3 0 を実際に加工運転しつつ、 精度評 価を行う。 運転パラ メ ータ微調整のための精度評価は、 上記運転パラ メ ー タ粗調整の場合と同様に行われるので、 その詳細な説明を省略する。
    [0033] 上記実施例では、 本発明を数値制御工作機械に適用し た場合について説明したが、 本発明は、 ロボッ ト等のそ の他の数値制御機械の作動精度の評価に適用可能である 又、 上記実施例では、 精度評価プロ グラ ムの実行終了 後に、 プロ グラ ム実行中に測定した機械作動位置とプロ グラ ム指定された機械作動位置とに基づいて機械作動誤 差を一括して算出して機械作動軌跡をグラフ ィ ッ ク表示 するよ うに したが、 プロ グラ ム実行中に機械作動誤差を 順次算出して軌跡の算出完了部分を表示するよ う にして も良い。
    权利要求:
    Claims 請 求 の 範 囲
    1. ( a ) 数値制御装置からの数値制御指令に応動する 数値制御機械から送出される フ ィ — ドバッ ク信号に基 づいて機械作動位置を求め、 （ b ) 前記工程 （ a ) で 求めた機械作動位置と前記 数値制御指令によ り指定 された目標機械作動位置との誤差を求め、 （ c 〉 前記 工程 （ b ) で求めた誤差に基づいて前記数値制御機械 の作動精度を評価する、 数値制御機械の作動精度評価 方法。
    2. 数値制御工作機械の加工精度を評価する請求の範囲 第 1項記載の数値制御機械の作動精度評価方法。
    3. 前記数値制御装置に格納した円弧加工プロ グ ラムを 実行する こ とによ り前記数値制御指令を発生させる請 求の範囲第 2項記載の数値制御機械の作動精度評価方 法。
    4. 前記数値制御工作機械を空運転しつつ、 前記工程 ( a ) を実行する請求の範囲第 2項記載の数値制御機 械の作動精度評価方法。
    5. 前記数値制御工作機械を実際に加工運転しつつ、 前 記工程 （ a ) を実行する請求の範囲第 2項記載の数値 制御機械の作動精度評価方法。
    6. 前記工程 （ c ) は、 前記工程 （ b〉 で求めた誤差に 基づいて、 前記数値制御装置において図形表示するェ 程を含む請求の範囲第 1 項記載の数値制御機械の作動 精度評価方法。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    US8010302B2|2011-08-30|Tool path display apparatus for machine tool
    JP3950805B2|2007-08-01|教示位置修正装置
    KR880000559B1|1988-04-15|프리세트|식 로보트에 대한 포인트|특정방식
    US6401006B1|2002-06-04|Machine controller with primary and secondary interpolation
    US4555610A|1985-11-26|Laser machining system
    US5568028A|1996-10-22|Tool life management system
    EP0440805B1|1994-12-21|Feed speed control method of numeric controller
    KR950000839B1|1995-02-02|이상정지기능을 구비한 수치 제어공작기계
    US8175861B2|2012-05-08|Machining simulation method and machining simulation apparatus
    DE102010036499B4|2015-01-08|Werkzeugvektor-Anzeigevorrichtung für eine Werkzeugmaschine mit Drehachse
    CN101377671B|2011-03-30|具有干扰检测功能的数值控制器
    DE60116192T2|2006-07-13|Verfahren zur Korrektur thermischer Verschiebung in einer Werkzeugmaschine
    US20030120376A1|2003-06-26|Numerical controller
    US20100063615A1|2010-03-11|Machining status monitoring method and machining status monitoring apparatus
    US5822212A|1998-10-13|Machining load monitoring system
    DE602004002997T2|2007-05-24|Numerische Steuerungsvorrichtung
    EP0348531A1|1990-01-03|Laser device for three-dimensional machining
    CN102650867B|2013-11-06|具有多轴加工机用速度控制功能的数值控制装置
    EP1582955A2|2005-10-05|Robot teaching apparatus
    KR19990023831A|1999-03-25|위치제어장치와 그 방법, 수치제어 프로그램 작성장치와그 방법 및 수치제어 공작기계의 제어방법
    KR100809106B1|2008-03-04|자동 선반, 자동 선반 제어 방법 및 자동 선반 제어 장치
    US4659971A|1987-04-21|Robot controlling system
    US20030090230A1|2003-05-15|Synchronization control method and synchronization control device
    US5315523A|1994-05-24|Numerical control apparatus having a work simulation function
    US7218989B2|2007-05-15|Machine tool control apparatus
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    EP0510204A4|1994-03-21|
    EP0510204A1|1992-10-28|
    JPH04177408A|1992-06-24|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    JPS6377638A|1986-09-22|1988-04-07|Toyoda Mach Works Ltd|Numerically controlled machine tool|
    JPS6457310A|1987-08-27|1989-03-03|Okuma Machinery Works Ltd|Numerical control system|WO1994007187A1|1992-09-22|1994-03-31|Robert Bosch Gmbh|Verfahren zur überprüfung der arbeitsgenauigkeit einer nc-maschine|
    US5537016A|1992-09-22|1996-07-16|Robert Bosch Gmbh|Method for verifying the performance accuracy of a numerically controlled machine|
    US5884876A|1995-12-19|1999-03-23|Keytown Pty Ltd|Adjustable gutter bracket assembly|
    CN105094051A|2014-04-15|2015-11-25|睿励科学仪器（上海）有限公司|运动平台系统的平面定位补偿方法|DE3438007C2|1984-10-17|1993-07-08|Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De||
    JPH052166B2|1986-03-25|1993-01-11|Kitamura Machinery Co Ltd||
    JPH0715642B2|1987-09-24|1995-02-22|オ−クマ株式会社|軌跡表示画面における移動スケール表示方式|
    JPH0772842B2|1988-07-29|1995-08-02|オ−クマ株式会社|追従誤差の検出機能を持った数値制御装置|
    US5005135A|1989-03-22|1991-04-02|Cincinnati Milacron, Inc.|Dynamic correction of servo following errors in a computer-numerically controlled system and fixed cycle utilizing same|
    JPH02257308A|1989-03-30|1990-10-18|Fanuc Ltd|Check plotting system for working program|JP3615596B2|1995-08-22|2005-02-02|ファナック株式会社|数値制御装置|
    DE19602470A1|1996-01-24|1997-07-31|Siemens Ag|Bestimmung und Optimierung der Arbeitsgenauigkeit einer Werkzeugmaschine oder eines Roboters oder dergleichen|
    JP2002120128A|2000-10-17|2002-04-23|Fanuc Ltd|サーボモータとスピンドルモータを制御する数値制御装置|
    JP2006106154A|2004-10-01|2006-04-20|Shinko Gijutsu Kenkyusho:Kk|被験者の技能評価システム|
    JP4256353B2|2005-02-17|2009-04-22|ファナック株式会社|サーボ制御装置及びサーボ系の調整方法|
    DE102006015981B4|2005-08-19|2014-02-13|Siemens Aktiengesellschaft|Verfahren zum Ermitteln des Verhaltens von zum Zwecke der Bewegung eines Werkzeugs oder einer Werkzeugaufnahme im Verbund bewegbaren Maschinenachsen einer mehrachsigen Maschine|
    WO2010067651A1|2008-12-09|2010-06-17|三菱電機株式会社|機械運動軌跡測定装置、数値制御工作機械および機械運動軌跡測定方法|
    US8190272B2|2008-12-16|2012-05-29|The Boeing Company|Geometric inspection of machined objects|
    JP5431987B2|2010-01-29|2014-03-05|Ｄｍｇ森精機株式会社|工作機械の制御装置|
    JP5738490B1|2013-12-05|2015-06-24|三菱電機株式会社|軌跡測定装置、数値制御装置および軌跡測定方法|
    CN107806825B|2017-09-29|2019-04-09|西安交通大学|基于平面光栅的三面五线机床空间几何误差测量辨识方法|
    DE102018111473A1|2018-05-14|2019-11-14|Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh|Verfahren zur Ermittlung der Konturtreue einer kinematischen Baugruppe|
    法律状态:
    1992-05-29| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1992-05-29| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU NL SE |
    1992-07-06| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1991918935 Country of ref document: EP |
    1992-10-28| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1991918935 Country of ref document: EP |
    1994-05-31| WWW| Wipo information: withdrawn in national office|Ref document number: 1991918935 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    [返回顶部]